光催化氧化适合在常温下将废臭气体完整氧化成无害的物资，适合处置高浓度、气量大、稳定性强的有毒无害气体的废气处置。
在半导体光催化氧化反响中，通过紫外光照射在纳米TiO2催化剂上，纳米TiO2催化剂吸收光能发生电子跃进和空穴跃进，颠末进一步的结合发生电子-空穴对，与废气表面吸附的水分(H2O)和氧气(O2)反响生成氧化性很活波的羟基自由基和超氧离子自由基能够把各种有机废气如烃类、醛类、酚类、醇类、硫醇类、苯类、氨类、氮氧化物、硫化物和别的VOC类有机物及无机物在光催化氧化的感化下还原成二氧化碳(CO2)、水(H2O)和别的没有毒有害物资，经过污染之后的废气份子被活化降解，臭味也同时消失了，起到了废气处理作用，同时对管道内滋生的细菌病毒都可以有效的去除，由于在光催化氧化反响过程中无任何添加剂，所以不会发生二次污染，运行本钱方面只是用到电能，无需常常调换配件，对付企业来的使用上是相称的节能环保。
当废气进入等离子光解一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。(在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。)
光离复合有机废气处理设备利用高能臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，因游离氧所携正负电子不平衡，所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。臭氧对紫外线光束照射分解后的有机物具有*的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有良好的消除效果。利用高能有效的UV光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸( DNA) ，再通过臭氧进行氧化反应，*达到有机废气处理中的脱臭及灭菌的目的。
UV光解净化器设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对恶臭气体进行协同分解氧化反应，使恶臭气体物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳。工艺流程废气→微波+光解+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3→CO2+H2O(达标排放)。设备配套齐全，净化效率高，自动化程度高，可每天24小时连续工作，运行稳定可靠，防腐蚀，使用寿命长的优势。
氧化性强，半导体光催化具备氧化性强的特色，对臭氧难以氧化的某些有机物如四氯化炭、六氯苯、都能有用地加以分解，所以对难以降解的有机物具备特别意义，光催化的有用氧化剂是羟基自由基(OH-)和超氧离子自由基(O2-、0-)，其氧化性高于罕见的臭氧、双氧水、高锰酸钾、次氯酸等。
