微波催化技术是对光催化氧化工艺的一种升级改进，把微波加热与催化剂加快化学历程反应的优点结合起来，利用微波加热的特点提供高温高压，与催化剂共同作用降低化学反应的活化能（分子从常态转变为容易发生化学反应活跃状态所需要的能量称为活化能），加速化学反应进程，再通过光氧净化处理，节省了基建费用和运行费用；该反应在密闭环境中进行，不对外界环境造成二次污染，并且能有效保护操作人员；最为重要的是该工艺提供了一种处理高浓度难降解有机废气的有效方法，能更好的降解有机污染物，或把难降解的有机物降解为易被生物降解中间产物，从而将有毒有害物质改变成为低分子无害物质，如水和二氧化碳。
优势
1、装置简单，一次性投资小，操作简便，使用寿命长，便于管理；
2、催化板设计，不存在催化剂失活和中毒等问题；
3、净化技术可靠稳定，设备无需添加任何易耗材料和人工日常维护，只需接通电源即可正常运作，运行维护费用极低；
4、运用微波技术，把微波加热与催化剂加快化学反应的优点结合起来，净化效果是普通光催化氧化和光触媒的3－5倍。
采用微波电磁辐射功能对废气进行微波辐射，使细胞中极性物质随高频微波场的摆动受到干扰和阻碍，引起微生物细胞的蛋白质，核酸等生物大分子受热凝固或变性失活，从而导致其突变或死亡，同时对磁共振使之产生强磁辐射对废气分子进行切割、破坏、断裂，如：氨、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、苯、甲苯、二甲苯、丁酮、丙酮、吡啶、乙酸乙脂、DMF等物质的分子键，破坏细菌的核酸(DNA)，再通过臭氧进行氧化反应，达到脱臭及杀灭细菌的目的。再利用O3对废气进行氧化反应，后采用特制合成催化剂对废气进行光合还原反应。
微波催化废气处理成套设备主要利用微波催化UV光解技术，该技术可以高效低成本低占地面积解决食品加工、工艺生产等工艺过程中出现的废气环境问题。
