微波光氧催化设备采用无极灯管发射紫外光波段照射废气分子，产生游离电子及电子空穴，生成的光氧还原功能，可氧化分解各种有机化合物和部分无机化合物，当恶臭气体中的废气分子吸收了紫外线的能量后，细菌分子的DNA（脱氧糖核酸）与核蛋白之间的断裂，造成核酸与蛋白的交联破坏，达到了第一阶段微波光氧催化要达到的废气除臭净化作用。
微波光氧催化技术就是在紫外光的作用下发生了化学反应。大自然中常见光化学反应需要空气中的分子吸收特定波长的电磁辐射激产生分子激发态，然后发生化学反应生成了新的物质或者变成引发热反应的中间化学产物。光化学反应的活化能来源于光子的能量而紫外光则是利用特制的紫外线光束照射有机废气VOC，例如说裂解苯、甲苯、二甲苯等的分子键使之成为游离状态的污染物分子。同时在微波光氧催化技术的紫外线光束的照射下分解空气中的氧分子产生游离氧，再由其与氧分子结合进而产生臭氧。
作为高氧化剂的臭氧能够对恶臭气体及其它刺激性异味有的清除效果。并且通过纳米催化床能够将多种催化剂共同作用从而对有机废气进行一个无害化的转化，转化的产物为二氧化碳和水，整个过程中能够有效地减少污染物的危害性。
微波光氧催化设备主要优势：
无需添加任何辅助材料或其他物质即可达到去除废气的目的。
具有适应性受工作环境的影响小，针对饲料厂的高温高湿高粉尘环境也可以应对自如。
设备后期的运维成本低，采用的灯管是一体化成型微波点亮技术且设备能够后期自行定期清理。
